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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本发明提供了一种激光退火载台，包括：承载平台，其具有相对设置的上表面和下表面，所述上表面用于接触并承载激光退火对象；冷却装置，其设置于所述承载平台的下表面一侧，并通过对所述承载平台的下表面喷布气体冷却介质降低所述承载平台和所述激光退火对象在激光退火过程中的温度。本发明通过喷布气体冷却介质，在激光退火过程中对晶圆正面的器件区域进行冷却，防止晶圆正面器件区域及粘合层的温度因晶圆减薄厚度较薄而在激光退火过程中超出其耐受温度。本发明能够增大激光退火的工艺窗口，也避免了改用耐高温粘合层带来的额外生产成本。
主权项：1.一种激光退火载台，其特征在于，包括：承载平台，其具有相对设置的上表面和下表面，所述上表面用于接触并承载激光退火对象；所述承载平台具有连通所述上表面和所述下表面的平台通孔；冷却装置，其设置于所述承载平台的下表面一侧，并通过对所述承载平台的下表面喷布气体冷却介质降低所述承载平台和所述激光退火对象在激光退火过程中的温度；所述冷却装置包括密封隔离结构，所述密封隔离结构位于所述承载平台下方，并与所述承载平台共同形成密封腔室；所述密封腔室的顶部内侧面至少包括所述承载平台的下表面；所述激光退火对象包括减薄晶圆，所述减薄晶圆通过粘合层固定于载体衬底上，所述载体衬底具有连通接触所述粘合层的表面与远离所述粘合层的表面的衬底通孔；所述载体衬底承载于所述承载平台时，所述平台通孔的位置与所述衬底通孔的位置一一对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 激光退火载台
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