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申请/专利权人：芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司
摘要：本发明提供了一种激光退火在线监控方法、装置及激光退火设备，用于监控激光退火时的能量，所述激光退火在线监控方法包括：构建对样本晶圆进行激光退火后在所述样本晶圆表面上的光斑图形的亮度值与对应激光退火的能量之间的关系模型；提供激光退火后的待测晶圆，所述待测晶圆表面形成有与激光光斑对应的光斑图形，获取所述待测晶圆上光斑图形的图像并获取所述图像上各光斑图形的亮度值；利用所述待测晶圆的光斑图形的亮度值，根据所述关系模型获得所述待测晶圆进行激光退火的能量。本发明可用于及时在线监测激光退火中的能量。
主权项：1.一种激光退火在线监控方法，用于监控激光退火时的能量，其特征在于，包括：构建对样本晶圆进行激光退火后在所述样本晶圆表面上的光斑图形的亮度值与对应激光退火的能量之间的关系模型；提供激光退火后的待测晶圆，所述待测晶圆表面形成有与激光光斑对应的光斑图形，获取所述待测晶圆上光斑图形的图像并获取所述图像上各光斑图形的亮度值；利用所述待测晶圆的光斑图形的亮度值，根据所述关系模型获得所述待测晶圆进行激光退火的能量。
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权利要求：
百度查询： 芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司 激光退火在线监控方法、装置及激光退火设备
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