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申请/专利权人:中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
摘要:本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种加速度计用全石英敏感部件,所述加速度计用全石英敏感部件包括骨架,骨架为等径圆筒形管体;摆片,摆片包括摆片本体和圆柱形通孔,圆柱形通孔设置于摆片本体的中心处,圆柱形通孔的内径大于等于骨架的外径;圆柱形通孔的内径大于等于骨架的外径;骨架纵向放置于圆柱形通孔内,摆片与骨架通过激光焊接的方法连接;还包括力矩线圈,力矩线圈包覆于骨架的外侧壁上。本发明用激光焊接的摆片和骨架结构代替分体式设计方式,由于消除了胶层导致的应力和蠕变等误差因素,使得石英挠性加速度计的长期和全温稳定性大幅提升。
主权项:1.一种加速度计用全石英敏感部件,其特征在于,包括:骨架,所述骨架为等径圆筒形管体;摆片,所述摆片包括摆片本体和圆柱形通孔,所述圆柱形通孔设置于所述摆片本体的中心处,所述圆柱形通孔的内径大于等于所述骨架的外径;所述骨架纵向放置于所述圆柱形通孔内,所述摆片与所述骨架通过激光焊接的方法连接;激光焊接过程如下:将超快激光发射器深入到所述骨架内,出光位置对准所述骨架与所述摆片的重叠处,旋转超快激光发神器,将所述摆片与所述骨架外侧壁在重叠处进行激光焊接;还包括力矩线圈,所述力矩线圈包覆于所述骨架的外侧壁上。
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