龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种提高碳化硅沟槽刻蚀精度的刻蚀装置，包括处理箱，所述处理箱上端连接有用于引入刻蚀气体的进气管，所述处理箱内部上端安装有气体导入系统，所述气体导入系统包括安装在处理箱内部上端的混均气箱，所述混均气箱上端与进气管连通，所述混均气箱下端连接有与阵列设置的沟槽对应的导管一，所述导管一下端连接有均压箱，所述均压箱下端连接有导管二，所述导管二下端连接有矩形的刻蚀气流罩，所述刻蚀气流罩的四个侧壁均安装有气体抽吸系统，从而能够避免混合气体混入相邻的刻蚀气流罩区域处，避免相邻的刻蚀气流罩排出的刻蚀气体的浓度值、均匀性受到影响，进而提升碳化硅上每一个所需刻蚀沟槽的刻蚀精确度。
主权项：1.一种提高碳化硅沟槽刻蚀精度的刻蚀装置，包括处理箱（1），所述处理箱（1）上端连接有用于引入刻蚀气体（22）的进气管（5），其特征在于，所述处理箱（1）内部上端安装有气体导入系统（2），所述气体导入系统（2）包括安装在处理箱（1）内部上端的混均气箱（21），所述混均气箱（21）上端与进气管（5）连通，所述混均气箱（21）下端连接有与阵列设置的沟槽对应的导管一（23），所述导管一（23）下端连接有均压箱（3），所述均压箱（3）下端连接有导管二（25），所述导管二（25）下端连接有矩形的刻蚀气流罩（26），所述刻蚀气流罩（26）的四个侧壁均安装有气体抽吸系统（6）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡邑文微电子科技股份有限公司 江苏邑文微电子科技有限公司 一种提高碳化硅沟槽刻蚀精度的刻蚀装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号