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申请/专利权人：中国科学院上海高等研究院
摘要：本实用新型涉及一种动态可调节真空差分机构，其包括水冷阀门、支撑机构和支架，其中，水冷阀门包括外壳和差分组件，外壳通过支撑机构可移动地安装在支架上以将水冷阀门移动至光束线的光路上，差分组件包括通过执行机构可移动地安装在外壳内的差分孔结构，差分孔结构包括固定安装在水冷铜座的相对两侧的CVD片和碳化硼片，CVD片上的孔和碳化硼片上的孔形成小孔径差分孔，在保证光束通过的基础上实现真空差分。根据本实用新型的动态可调节真空差分机构，可以在光束线的特定光子能量范围内通过执行机构提起差分孔结构使之处于上位，从而使得本实用新型的装置能实现对不同光子能量光束的真空差分。
主权项：1.一种动态可调节真空差分机构，其特征在于，该动态可调节真空差分机构包括水冷阀门、支撑机构和支架，其中，水冷阀门包括外壳和差分组件，外壳通过支撑机构可移动地安装在支架上以将水冷阀门移动至光束线的光路上，差分组件包括通过执行机构可移动地安装在外壳内的差分孔结构，差分孔结构包括固定安装在水冷铜座的相对两侧的CVD片和碳化硼片，CVD片上的孔和碳化硼片上的孔形成小孔径差分孔，在保证光束通过的基础上实现真空差分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海高等研究院 一种动态可调节真空差分机构
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