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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种冷却电极与反应腔的密封结构及半导体外延炉反应腔，涉及半导体外延炉技术领域。反应腔底部的密封法兰上设置有密封孔，连接组件包括第一绝缘压环、第一密封圈、第二绝缘压环和锁紧环，第一绝缘压环包括第一压紧环和第一绝缘套筒，第一压紧环设于第一绝缘套筒的一端，第二绝缘压环包括第二压紧环和第二绝缘套筒，第二压紧环设于第二绝缘套筒的一端，第一绝缘套筒和第二绝缘套筒均设于电极外管和密封孔之间，第一密封圈设于第一绝缘套筒和第二绝缘套筒之间，冷却电极的外侧设置有限位阶梯面和锁紧外螺纹，第一压紧环设于限位阶梯面和密封孔的其中一端面之间，锁紧环与锁紧外螺纹配合螺接并将第二压紧环压紧于密封孔的另一端面。
主权项：1.冷却电极与反应腔的密封结构，其特征在于，反应腔的底部设置有密封法兰2，所述密封法兰2上设置有密封孔，冷却电极1通过连接组件3与所述密封孔密封绝缘连接；所述连接组件3包括第一绝缘压环31、第一密封圈32、第二绝缘压环33和锁紧环34，所述第一绝缘压环31包括第一压紧环311和第一绝缘套筒312，所述第一压紧环311设于所述第一绝缘套筒312的一端，所述第二绝缘压环33包括第二压紧环331和第二绝缘套筒332，所述第二压紧环331设于所述第二绝缘套筒332的一端，所述第一绝缘套筒312和所述第二绝缘套筒332均设于所述冷却电极1和所述密封孔之间，所述第一密封圈32设于所述第一绝缘套筒312和所述第二绝缘套筒332之间，所述冷却电极1的外侧设置有限位阶梯面和锁紧外螺纹，所述第一压紧环311设于所述限位阶梯面和所述密封孔的其中一端面之间，所述锁紧环34与所述锁紧外螺纹配合螺接并将所述第二压紧环331压紧于所述密封孔的另一端面。
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