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申请/专利权人：南阳市万杰光电有限公司
摘要：本实用新型公开了一种具有限位结构的抛光机，涉及单晶硅片制造设备技术领域，包括：操作台，所述操作台的下表面固定连接有若干个承重柱，所述承重柱呈对称分布于操作台的下表面，夹持组件，所述夹持组件设置于操作台的上表面中部，抛光组件，所述抛光组件设置于操作台的一侧；本实用新型通过双轴电机带动丝杆转动，丝杆带动滑块沿着导向杆的表面滑动，滑块带动弧形板和夹持板运动，直至夹持板对待加工的单晶硅片进行夹持即可，开启抛光组件对单晶硅片进行抛光操作，在对不同尺寸的单晶硅片进行抛光操作时，仅需转动更换盘，转动至可对该尺寸的单晶硅片进行抛光操作的抛光板即可，本装置结构简单使用方便，满足了现有的使用需求。
主权项：1.一种具有限位结构的抛光机，其特征在于，包括：操作台1，所述操作台1的下表面固定连接有若干个承重柱11，所述承重柱11呈对称分布于操作台1的下表面；夹持组件2，所述夹持组件2设置于操作台1的上表面中部；抛光组件3，所述抛光组件3设置于操作台1的一侧；其中，所述抛光组件3包括直角板31、斜撑板32、气缸33、连接板34、正反转电机35、更换盘36、抛光电机37、固定圆环38和固定螺栓39，所述操作台1的一侧设置有直角板31，所述直角板31的内壁固定连接有斜撑板32，所述直角板31的上表面固定安装有气缸33，所述气缸33的伸缩端贯穿直角板31的上表面固定安装有连接板34，所述连接板34的下表面固定安装有正反转电机35，所述正反转电机35的输出端固定安装有更换盘36，所述更换盘36的上表面固定安装有若干个抛光电机37，所述抛光电机37呈环形阵列分布于更换盘36的上表面。
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权利要求：
百度查询： 南阳市万杰光电有限公司 一种具有限位结构的抛光机
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