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申请/专利权人：浙江创芯集成电路有限公司
摘要：本申请实施例提供一种清洗液的喷洒系统以及CMP机器的清洗机，所述清洗液的喷洒系统设置于CMP机器的清洗机，所述喷洒系统包括：传输清洗液的喷水杆；设置于所述喷水杆的一端，将清洗液喷洒在晶圆表面的喷嘴；控制所述喷水杆进行旋转运动，以清洁所述喷嘴残留的清洗液的控制系统。本申请实施例提供了一种清洗液的喷洒系统，通过清洗液的喷洒系统可以将清洗液覆盖晶圆表面，并且通过控制系统能够清洁喷洒系统中残留的清洗液。
主权项：1.一种清洗液的喷洒系统，其特征在于，所述清洗液的喷洒系统设置于CMP机器的清洗机，所述喷洒系统包括：传输清洗液的喷水杆；设置于所述喷水杆的一端，将清洗液喷洒在晶圆表面的喷嘴；控制所述喷水杆进行旋转运动，以清洁所述喷嘴残留的清洗液的控制系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江创芯集成电路有限公司 一种清洗液的喷洒系统以及CMP机器的清洗机
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