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申请/专利权人:苏州英谷激光科技股份有限公司
摘要:一种快速调节像散的方法及其激光扩束器,快速调节像散的方法包括如下步骤:S01、基于高斯光学传输矩阵,建立光束通过时的棱镜入射角和像散补偿值之间的函数关系,基于需要补偿的像散值,确定棱镜入射角;S02、设置棱镜、第一反射镜和第二反射镜的初始位置,并保证光束依次通过棱镜、第一反射镜和第二反射镜后光束的输入与输出同轴,本发明通过棱镜、第一反射镜和第二反射镜的配合,在调节像散过程中,使光束输入与输出同轴。即设置棱镜、第一反射镜和第二反射镜的初始位置,再在初始位置的基础上同步调节三者偏转角度,以补偿像散,即可保证调节后的光束输入与输出同轴。
主权项:1.一种快速调节像散的方法,其特征在于:包括如下步骤:S01、基于高斯光学传输矩阵,建立光束通过时的棱镜(3)入射角和像散补偿值之间的函数关系,基于需要补偿的像散值,确定棱镜(3)入射角;S02、设置棱镜(3)、第一反射镜(4)和第二反射镜(5)的初始位置,并保证光束依次通过棱镜(3)、第一反射镜(4)和第二反射镜(5)后光束的输入与输出同轴;其中,棱镜(3)、第一反射镜(4)和第二反射镜(5)均以各自的旋转轴转动设置,且所述棱镜(3)的旋转轴为A、第一反射镜(4)的旋转轴为B、第二反射镜(5)的旋转轴为C;所述旋转轴A、所述旋转轴B以及所述旋转轴C,三者平行设置;S03、同步调节棱镜(3)、第一反射镜(4)和第二反射镜(5)的偏转角度,以补偿像散,同时保证角度调节后的光束的输入与输出同轴。
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