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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种基于施加于液体的振动来确定储存容器内的液体的液位的技术。在贮存用于基板的处理的液体的装置中，翅片插入于贮存液体的储存容器内，构成为与所述液体的液面交叉的方向上的宽度尺寸根据该液体的液体深度方向上的位置而变化，振动施加部对该翅片施加振动。振动检测部检测利用施加有振动的翅片而形成于液体的表面的波到达所述储存容器的内壁面时的振动，液位确定部基于检测出的振动的振幅的大小与所述翅片的宽度尺寸的对应关系，来确定所述储存容器内的液体的液位。
主权项：1.一种贮存液体的装置，其是贮存用于基板的处理的液体的装置，其中，该贮存液体的装置具备：储存容器，其贮存所述液体；翅片，其插入于所述储存容器内，构成为与所述液体的液面交叉的方向上的宽度尺寸根据该液体的液体深度方向上的位置而变化；振动施加部，其对所述翅片施加振动；振动检测部，其检测利用自所述振动施加部施加有振动的所述翅片而形成于所述液体的表面的波到达所述储存容器的内壁面时的振动；以及液位确定部，其基于由所述振动检测部检测出的振动的振幅的大小与所述翅片的宽度尺寸的对应关系，来确定所述储存容器内的液体的液位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 贮存液体的装置、处理基板的系统以及确定液位的方法
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