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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：披露了一种用于确定衬底上的结构相对于名义竖直位置的竖直位置的方法。所述方法包括：针对多个不同波长，获得与来自所述结构的散射辐射相关的复合场数据；根据所述复合场数据确定相位参数随波长的变化；以及根据所确定的相位随波长的变化来确定相对于名义竖直位置的所述竖直位置。
主权项：1.一种用于确定衬底上的结构相对于名义竖直位置的竖直位置的方法，包括：针对多个不同波长，获得与来自所述结构的散射辐射相关的复合场数据；根据所述复合场数据确定相位参数随波长的变化；以及根据所确定的相位随波长的变化来确定相对于名义竖直位置的所述竖直位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于确定衬底上的结构的竖直位置的方法和相关联的设备
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