龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种用于晶圆加工转运的硅片花篮及其使用方法，具体涉及硅片晶圆承载花篮领域，本发明包括承载篮体，承载篮体的底部固定安装有支撑板，支撑板的顶部固定安装有垫撑板，垫撑板的两侧设置有夹推机构和定位机构，夹推机构包括转动安装在支撑板内壁的转杆，转杆呈水平状态设置；本发明是在花篮两侧设置能够进行滑动的夹板，根据不同的晶圆尺寸自由调整花篮两侧夹板的距离，便于承载不同尺寸的晶圆进行移动，同时还在承载晶圆时，通过托举晶圆底部的托板上设置的拨辊进行转动，使得晶圆同步转动，便于晶圆与花篮接触的位置脱离而进行更有效的清洗。
主权项：1.一种用于晶圆加工转运的硅片花篮，包括承载篮体1，所述承载篮体1的底部固定安装有支撑板2，所述支撑板2的顶部固定安装有垫撑板3，其特征在于：所述垫撑板3的两侧设置有夹推机构4和定位机构5；所述夹推机构4包括转动安装在支撑板2内壁的转杆41，所述转杆41呈水平状态设置，所述转杆41的两侧固定安装有转盘42，所述转杆41的两侧外壁开设有螺纹槽43，所述螺纹槽43的外壁螺纹连接有转环44。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司 一种用于晶圆加工转运的硅片花篮及其使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号