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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本申请涉及一种承载花篮及清洗装置，承载花篮包括花篮本体、多个承载卡齿以及储液箱，花篮本体上设置有进液口；多个承载卡齿均设置在花篮本体上，相邻两个承载卡齿之间形成用于容纳硅片的空间，承载卡齿上设置有与进液口连通的出液口；储液箱与进液口连通，储液箱用于容纳去离子液，储液箱的去离子液能够依次通过进液口和出液口排出至承载卡齿和硅片之间。上本申请提供的承载花篮，当需要清洗硅片时，将硅片安装在承载卡齿上，将承载花篮放置在清洗装置构的药液槽内，使得硅片在药液槽中清洗时或减少与承载卡齿的接触。
主权项：1.一种承载花篮，其特征在于，所述承载花篮包括：花篮本体100，其上设置有进液口；多个承载卡齿121，均设置在所述花篮本体100上，相邻两个所述承载卡齿121之间形成用于容纳硅片500的空间，所述承载卡齿121上设置有与所述进液口连通的出液口；储液箱，与所述进液口连通，所述储液箱用于容纳去离子液，所述储液箱的去离子液能够依次通过所述进液口和所述出液口排出至所述承载卡齿121和所述硅片500之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 承载花篮及清洗装置
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