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申请/专利权人：四川上特科技有限公司

摘要：一种晶圆清洗花篮，属于晶圆片的专用载体技术领域，花篮包括：两个框体，框体均布有至少三根相互平行的支撑杆，支撑杆的两端分别连接于两块端板，两个框体顶部的一侧边转动相连。支撑杆上均沿长度方向阵列套设有多个夹套，相邻夹套之间均套设有衬套，两个框体上的夹套与衬套沿着支撑杆的长度方向错位设置；夹套包括同轴设置的两片环形结构的侧压板，两块侧压板相对一侧的内圈之间通过一鼓形套相连，鼓形套具有弹性，其中部沿圆周向外拱起。两个框体盖合之后，沿支撑杆同一截面上的衬套与鼓形套外表面之间形成的最小圆形轨迹的内径小于晶圆的外径。本方案可在清洗时进行翻转或摆动，并能防止晶圆掉落，并且晶圆的装取更加方便。

主权项：1.一种晶圆清洗花篮，其特征在于，包括：两个框体（1），框体（1）均布有至少三根相互平行的支撑杆（2），且同一个框体（1）的支撑杆（2）围成的轨迹为四分之三圆弧，且圆弧开口的一方设定为框体（1）的顶部，圆弧底部则对应框体（1）的底部，支撑杆（2）的两端分别连接于两块端板（3），两个框体（1）顶部的一侧边转动相连，转动的轴线与支撑杆（2）平行，当两个框体（1）转动至顶部相互接触时，两个框体（1）呈盖合状态，且两个框体（1）的支撑杆（2）围成圆形轨迹，两个框体（1）之间设有锁紧结构，用于使两个框体（1）保持盖合状态；锁紧结构包括设于花篮两端的连接柱（6），当两个框体（1）盖合之后，连接柱（6）与花篮同轴；连接柱（6）前端面的下部连接于其中一个框体（1）对应的端板（3）外壁，连接柱（6）的上部穿设有与其轴线平行的插销（61），另一个框体（1）的端板（3）上开设有定位孔（31），当两个框体（1）盖合之后，定位孔（31）与插销（61）对齐；支撑杆（2）上均沿长度方向阵列套设有多个夹套（4），相邻夹套（4）之间均套设有衬套（5），衬套（5）的长度与夹套（4）的长度相同，且衬套（5）与夹套（4）之间具有间隔，同一框体（1）的多根支撑杆（2）相同截面上均设置夹套（4）或均设置衬套（5），两个框体（1）上的夹套（4）与衬套（5）沿着支撑杆（2）的长度方向错位设置；夹套（4）包括同轴设置的两片环形结构的侧压板（41），两片侧压板（41）相对一侧的内圈之间通过一鼓形套（42）相连，鼓形套（42）具有弹性，其中部沿圆周向外拱起，当鼓形套（42）自然拱起时，两块侧压板（41）之间的距离小于或等于晶圆的厚度，当鼓形套（42）的中部向支撑杆（2）的轴线压缩时，两块侧压板（41）沿支撑杆（2）的轴线向两侧滑动，两块侧压板（41）之间的距离将大于晶圆的厚度；衬套（5）的外径大于鼓形套（42）中部的外径；两个框体（1）盖合之后，沿支撑杆（2）同一截面上的衬套（5）与鼓形套（42）外表面之间形成的最小圆形轨迹的内径小于晶圆的外径。

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