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申请/专利权人：金兰功率半导体(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开一种基板清洗治具及清洗组件，清洗治具包括底板和具有至少一列纵向槽的支架，每列纵向槽的两侧壁上凸设有筋条，每相邻的两个筋条之间形成凹槽，相对的两个凹槽构成容纳一个基板的插槽，插槽的设计使得基板可以垂直插入，相较于传统的平铺方式。这种垂直插槽依次排列的结构不仅节省空间，提升清洗治具容纳基板的数目，在一次清洗过程中能够清洗更多的基板，还能有效控制相邻两个基板之间的间隔，使得清洗液能够更有效地流动和接触基板的每个部分，同时减少了在清洗过程中基板相互碰撞的风险，此外这种插槽也便于基板的快速装卸，提高了操作的便利性，大幅提升了清洗效率。
主权项：1.一种基板清洗治具，其特征在于，包括：底板，所述底板用以可拆卸地安装于清洗篮内；以及，支架，设置于所述底板上侧，并构成至少一列纵向槽，所述纵向槽的长度方向沿纵向延伸，且上侧呈敞开设置，所述底板构成所述纵向槽的底壁，所述纵向槽在横向上呈相对设置的两个侧壁上分别凸设有多个筋条，在纵向上每相邻的两个所述筋条之间构成一个凹槽，各所述侧壁上分别形成在纵向上呈间隔设置的多个所述凹槽，两个所述侧壁上的多个所述凹槽在横向上一一对应地相向设置，以限定形成用于容纳基板的多个插槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 金兰功率半导体(无锡)有限公司 基板清洗治具及清洗组件
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