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申请/专利权人：阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种承载台，包括底座和承载组件；承载组件包括转动机构、安装盒、多个夹块、多个螺杆、多个从动锥齿轮、第一电机和主动锥齿轮；转动机构用于带动安装盒旋转，从而带动限位在安装盒上的晶圆片旋转；在使用时，将晶圆片放置到安装盒顶部，然后启动第一电机，第一电机驱动主动锥齿轮转动，主动锥齿轮驱动多个从动锥齿轮转动，从而带动多个螺杆转动，使得多个夹块开始朝着晶圆片滑动，直至多个夹块从四个方向将晶圆片轻微夹紧即可；采用上述方式，多个夹块可以根据需要自由的滑动调整，因此可以根据需要限位各种不同尺寸的晶圆片。
主权项：1.一种承载台，包括底座；其特征在于，还包括承载组件；所述承载组件包括转动机构、安装盒、多个夹块、多个螺杆、多个从动锥齿轮、第一电机和主动锥齿轮；所述转动机构设置在所述底座上；所述安装盒设置在所述转动机构顶部；多个所述夹块分别与所述安装盒滑动连接，并分别穿过所述安装盒；多个所述螺杆分别与所述安装盒转动连接，并分别与多个所述夹块螺纹连接，且分别穿过多个所述夹块；多个所述从动锥齿轮分别与多个所述螺杆固定连接，并分别位于多个所述螺杆一侧；所述第一电机与所述安装盒固定连接，并位于所述安装盒内部；所述主动锥齿轮与所述第一电机的输出端固定连接，并分别与多个所述从动锥齿轮啮合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司 一种承载台
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