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申请/专利权人：江苏汇显显示技术有限公司
摘要：本申请提供了一种电镀治具、电镀方法和电镀设备，涉及电镀技术领域，提高了电镀膜层厚度的均匀性。电镀治具用于在电镀基板上电镀膜层。电镀治具包括治具本体和电源组件；治具本体围合出腔体，治具本体包括两个及以上开口，开口与腔体连通，治具本体包括第一壁，至少部分开口开设在第一壁上；至少部分电源组件位于腔体内，电源组件包括多个电源接入端，至少部分电源接入端位于相邻开口之间。其中，电镀过程中，电镀基板置于腔体内，电镀基板包括种子层，种子层和电源接入端电连接。本申请通过将治具本体开设多个开口，从而将电镀基板划分为了多个电镀区域，并在相邻开口之间设置了电源接入端，从而为每个电镀区域的种子层提供了电镀电流，从而降低了电镀基板各个位置电镀速率的差异，即提高了电镀基板各个位置电镀膜层厚度的均匀性，从而有利于提高大面积电镀基板电镀的可行性。
主权项：1.一种电镀治具，其特征在于，用于在电镀基板上电镀膜层；所述电镀治具包括：治具本体，围合出腔体；所述治具本体包括两个及以上开口，所述开口与所述腔体连通，所述治具本体包括第一壁，至少部分所述开口开设在所述第一壁上；和电源组件，至少部分位于所述腔体内，所述电源组件包括多个电源接入端，至少部分所述电源接入端位于相邻所述开口之间；其中，电镀过程中，所述电镀基板置于所述腔体内，所述电镀基板包括种子层，所述种子层和所述电源接入端电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇显显示技术有限公司 电镀治具、电镀方法和电镀设备
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