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申请/专利权人:歌尔光学科技有限公司
摘要:本发明公开了一种振镜失效检测方法及装置,在待测振镜振动过程中向待测振镜投射出光,获取待测振镜的反射光形成的图像;根据图像获得待测振镜的失效检测结果。与现有技术相比,本发明避免了由检测人员评判振镜是否失效,受检测人员的主观性影响小,并且能够提高检测效率。
主权项:1.一种振镜失效检测方法,其特征在于,包括:在待测振镜振动过程中向所述待测振镜投射出光,获取所述待测振镜的反射光形成的图像;根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果;向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括第一部分和第二部分;根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括:根据所述图像的像素单元中第一部分像素与第二部分像素的相对位置,获得所述待测振镜的偏转率,根据所述待测振镜的偏转率获得所述待测振镜的失效检测结果,所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小;向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括沿着第二轴向排列的第一部分和第二部分,第一部分为单像素,第二部分为双像素,第一轴向与第二轴向相互垂直;根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果具体包括:根据所述图像的像素单元中单像素沿第一轴向的两个边缘位置以及双像素沿第一轴向的中点位置,获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率,所述待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小。
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权利要求:
百度查询: 歌尔光学科技有限公司 一种振镜失效检测方法及装置
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