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申请/专利权人：无锡晶名光电科技有限公司
摘要：本实用新型涉及锑化铟晶片化学抛光技术领域，具体是一种锑化铟晶片化学抛光装置，包括抛光槽，抛光槽的顶端通过四个立柱固定连接有顶板，还包括上料机构、搅拌机构和多个抛光盘，多个抛光盘等距设置于顶板的下方，上料机构包括移动板、升降组件和多个安装组件，搅拌机构包括驱动组件、多个转杆和多个搅拌叶片，通过设置多个抛光盘和多个安装组件，能同时对多组晶片的同时化学抛光，进而能实现批量抛光，大大提高了抛光效率，满足使用需求。
主权项：1.一种锑化铟晶片化学抛光装置，包括抛光槽11，抛光槽11的顶端通过四个立柱12固定连接有顶板13，其特征在于，还包括上料机构、搅拌机构和多个抛光盘30；多个抛光盘30等距设置于顶板13的下方；上料机构包括移动板21、升降组件和多个安装组件，移动板21位于顶板13的下方，升降组件位于移动板21和顶板13之间，每个抛光盘30的上方均设有一个安装组件，每个安装组件均安装于移动板21的底端；搅拌机构包括驱动组件、多个转杆19和多个搅拌叶片20，多个转杆19通过轴承等距转动于抛光槽11的底端，驱动组件安装于抛光槽11的底端，驱动组件位于多个转杆19和抛光槽11之间，每个转杆19的表面位于抛光槽11的内部均安装有两个搅拌叶片20。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡晶名光电科技有限公司 一种锑化铟晶片化学抛光装置
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