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一种SPV硅片少子寿命检测系统 

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申请/专利权人:上海柏凌电子科技有限公司

摘要:本实用新型涉及硅片检测技术领域,尤其为一种SPV硅片少子寿命检测系统,包括测量模块、信号处理模块、控制模块和基座,所述基座上固定设有承载平台,所述承载平台端面中心处固定设有内嵌有光电传感器,所述光电传感器的上方并且位于承载平台的端面上设有硅片,所述硅片的上方设有红外光源,所述红外光源的安装在固定架上,所述固定架设置在基座的端面上,所述固定架上并且位于红外光源的同侧设有静电耦合传感器,所述基座的端面上并且位于固定架的左上侧固定设有LCD触摸屏安装架,所述LCD触摸屏安装架上安装有LCD触摸屏,本实用新型通过设计检测系统具有无接触、抗干扰能力强、故障率低、操作方便、维护成本低、快速、准确等优点。

主权项:1.一种SPV硅片少子寿命检测系统,包括测量模块1、信号处理模块2、控制模块3和基座133,其特征在于:所述基座133上固定设有承载平台132,所述承载平台132端面中心处固定设有内嵌有光电传感器134,所述光电传感器134的上方并且位于承载平台132的端面上设有硅片131,所述硅片131的上方设有红外光源111,所述红外光源111的安装在固定架141上,所述固定架141设置在基座133的端面上,所述固定架141上并且位于红外光源111的同侧设有静电耦合传感器121,所述基座133的端面上并且位于固定架141的左上侧固定设有LCD触摸屏安装架4,所述LCD触摸屏安装架4上安装有LCD触摸屏32,所述测量模块1包括脉冲信号发生器151和放大电路152,所述信号处理模块2包括第一信号处理单元21和第二信号处理单元22,所述控制模块3包括微处理器31,模数与数模转换处理器33。

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