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申请/专利权人：西北工业大学
申请日：2023-07-20
公开（公告）日：2023-12-08
公开（公告）号：CN117185246A
主分类号：B81B7/02
分类号：B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00;B81C3/00;B81C1/00;G01P5/08;G01H11/06
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2023.12.26#实质审查的生效;2023.12.08#公开
摘要：本发明涉及流场检测装置领域，具体涉及一种模仿海豹胡须结构的MEMS流场感知器件及其制备方法，包括：安装座；在安装座上设置有十字梁组件，在十字梁组件的每条梁上设置有两个压阻敏感单元，其中，每条梁的水平面呈锯齿形，在十字梁组件的十字中心设置有竖直设置的仿海豹胡须结构的柱状体，压阻敏感单元和检测电路连接。本装置提高了流场感知的灵敏度。
主权项：1.一种模仿海豹胡须结构的MEMS流场感知器件，其特征在于，包括：安装座；十字梁组件，悬空设置在安装座上，在十字梁组件的每条梁上设置有两个压阻敏感单元，压阻敏感单元和检测电路连接，其中，每条所述梁的边缘呈锯齿形；仿海豹胡须结构的柱状体，竖直连接在十字梁组件的十字中心。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种模仿海豹胡须结构的MEMS流场感知器件及其制备方法
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皖公网安备 34010402703815号