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申请/专利权人：北京振兴计量测试研究所
申请日：2022-09-01
公开（公告）日：2024-03-08
公开（公告）号：CN117665111A
主分类号：G01N29/06
分类号：G01N29/06;G01N29/26;G01N23/04;G01N23/18;G01N21/88;G01N1/28
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开
摘要：本发明涉及塑封元器件的破坏性物理分析或失效分析技术领域，尤其涉及一种用于塑封器件拒收缺陷的检测方法。解决现有塑封器件拒收缺陷检测方法耗时较多、观测内部范围有限、不能准确判断空洞是否跨越键合丝的问题。一种用于塑封器件拒收缺陷的检测方法，包括：外部目检；声学扫描显微镜检测，检查图像中是否出现黑色阴影；对黑色阴影区域进行X射线检查，观察器件塑封料是否形成明暗差别的图像；若形成明暗差别的图像，进行激光开封；观察是否出现空洞，记录空洞位置；对比分析声扫图像、X射线检查图像、激光刻蚀去除塑封料后器件内部结构形貌，判断空洞是否跨越键合丝，达到拒收标准。通过本发明可以明确内部空洞是否达到拒收标准。
主权项：1.一种塑封器件拒收缺陷的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：外部目检，目测塑封器件表面是否存在明显的空洞；步骤二：对塑封器件进行声学扫描显微镜检测，检查图像中是否出现黑色阴影；步骤三：若出现黑色阴影，对黑色阴影区域进行X射线检查，观察器件塑封料是否形成明暗差别的图像；步骤四：若形成明暗差别的图像，进行激光开封；步骤五：观察是否出现空洞，并对空洞位置进行记录；步骤六：对比分析声学扫描显微检测图像、X射线检查图像以及激光刻蚀去除塑封料后器件内部结构形貌，判断空洞是否跨越了键合丝，跨越键合丝空洞的不可接受，达到拒收标准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京振兴计量测试研究所 一种塑封器件拒收缺陷的检测方法
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