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用于DFN半导体器件的老化测试装置 

申请/专利权人:西安航思半导体有限公司

申请日:2022-11-10

公开(公告)日:2024-05-10

公开(公告)号:CN118011052A

主分类号:G01R1/04

分类号:G01R1/04;G01R31/26;E06B5/10;E06B7/16;E05C1/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要:本发明公开一种用于DFN半导体器件的老化测试装置,其具有密封板的保温门分别设置在两个腔体的开口侧,密封板进一步包括第一密封板、第二密封板,第一密封板固定安装在保温门内侧,第二密封板叠置在第一密封板表面,此保温门一端与箱体转动连接,另一端设置有一扣锁装置,扣锁装置进一步包括底板、滚轴以及插销,具有凹槽的底板安装在保温门的侧壁上,凹槽可供滚轴嵌入安装,横杆设置在滚轴相背于凹槽的一侧,一连接柱的一端与插销固定连接,另一端与横杆转动连接,一固定安装在箱体表面的插板具有一供插销嵌入的插孔。本发明既改善了保温门的密封性,又提高了保温门与腔体闭合的稳定性,从而保证了腔体内部温度的稳定性,还提高了人员操作的便捷性。

主权项:1.一种用于DFN半导体器件的老化测试装置,包括:箱体(1),其特征在于:一上、下分布的第一腔体(3)、第二腔体(4)开设在箱体(1)内部,在所述腔体(3,4)内部对称设置有若干个左置物板(51)、右置物板(52),所述左置物板(51)、右置物板(52)各自与一收折机构(6)连接,此收折机构(6)分别安装在一位于腔体(3,4)内部且竖直设置的左支撑板(171)、右支撑板(172)上;一具有密封板(7)的保温门(2)分别设置在两个腔体(3,4)的开口侧,所述密封板(7)进一步包括第一密封板(71)、第二密封板(72),所述第一密封板(71)固定安装在保温门(2)内侧,所述第二密封板(72)叠置在第一密封板(71)表面,所述第二密封板(72)的尺寸小于第一密封板(72)尺寸,此保温门(2)一端与箱体(1)转动连接,另一端设置有一扣锁装置(8);所述扣锁装置(8)进一步包括底板(9)、滚轴(10)以及插销(11),所述具有凹槽(12)的底板(9)安装在保温门(2)的侧壁上,所述凹槽(12)可供滚轴(10)嵌入安装,一横杆(13)设置在滚轴(10)相背于凹槽(12)的一侧,一连接柱(14)的一端与插销(11)固定连接,另一端与横杆(13)转动连接,一固定安装在箱体(1)表面的插板(15)具有一供插销(11)嵌入的插孔(16),该插孔(16)上、下贯穿设置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安航思半导体有限公司 用于DFN半导体器件的老化测试装置

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