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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
申请日：2024-03-29
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118042695A
主分类号：H05H1/24
分类号：H05H1/24
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：本发明提供了一种辉光微放电装置，涉及等离子技术领域，所述辉光微放电装置包括：电源组件；阳极和阴极，所述阳极与所述电源组件的正极相连，所述阴极与所述电源组件的负极相连，所述阳极和所述阴极对应设置且二者之间设有间距，以使得所述阳极和所述阴极之间形成放电距离，所述放电距离小于待电离气体的最小击穿电压对应的放电间隙，所述待电离气体被击穿时的工作压力小于或者等于大气压。本发明，在放电条件较为简单且成本低的条件下即可实现稳定的辉光微放电。
主权项：1.一种辉光微放电装置，其特征在于，包括：电源组件，用于提供辉光微放电的击穿电压；阳极5和阴极4，所述阳极5与所述电源组件的正极相连，所述阴极4与所述电源组件的负极相连，所述阳极5为线状结构，所述阴极4为平板状结构，所述阳极5和所述阴极4对应设置且二者之间设有间距，以使得所述阳极5和所述阴极4之间形成放电距离，所述放电距离小于待电离气体的最小击穿电压对应的放电间隙，所述待电离气体被击穿时的工作压力小于或者等于大气压。
全文数据：
权利要求：
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