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申请/专利权人：上海微松工业自动化有限公司
申请日：2023-11-13
公开（公告）日：2024-05-28
公开（公告）号：CN221041053U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/66;B08B7/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.28#授权
摘要：本申请涉及清洁设备的领域，尤其是一种晶圆片的脏面清洁设备，其包括上料组件、夹持件、控制组件和胶带，夹持件连接于上料组件，夹持件用于夹持工件，上料组件用于转运工件，控制组件包括安装架、放卷辊和收卷辊，放卷辊和收卷辊均绕自身轴线转动连接于安装架，放卷辊的轴线和收卷辊的轴线相互平行，胶带的一端连接于放卷辊的外壁，胶带的另一端连接于收卷辊的外壁，胶带的粘接面用于粘接晶圆片的脏面。夹持件对工件夹持，上料组件带动夹持件移动，将工件移动到正确的位置，收卷辊转动带动胶带移动，胶带对晶圆片的脏面进行粘接清洁，通过上料组件与控制组件的配合实现对晶圆片脏面清洁的自动化，提高清理效率。
主权项：1.一种晶圆片的脏面清洁设备，其特征在于：包括上料组件（2）、夹持件（3）、控制组件（4）和胶带（5），所述夹持件（3）连接于上料组件（2），所述夹持件（3）用于夹持工件，所述上料组件（2）用于转运工件，所述控制组件（4）包括安装架（42）、放卷辊（471）和收卷辊（472），所述放卷辊（471）和收卷辊（472）均绕自身轴线转动连接于安装架（42），所述放卷辊（471）的轴线和收卷辊（472）的轴线相互平行，所述胶带（5）的一端连接于放卷辊（471）的外壁，所述胶带（5）的另一端连接于收卷辊（472）的外壁，所述胶带（5）的粘接面用于粘接晶圆片的脏面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微松工业自动化有限公司 晶圆片的脏面清洁设备
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