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申请/专利权人：胜高股份有限公司
申请日：2020-02-07
公开（公告）日：2024-05-31
公开（公告）号：CN113632202B
主分类号：H01L21/205
分类号：H01L21/205;H01L21/683;H01L21/673;C23C16/54
优先权：["20190418 JP 2019-079122"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.31#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开
摘要：使用第1机器人121，将在装载锁定室13待机的载具C在未搭载处理前的晶圆WF的状态下投入反应室111，在将反应室111维持成既定的洗涤温度的状态下供给洗涤用气体，使用第1机器人121，通过将在反应室111中已结束洗涤的载具C搬运至装载锁定室13来以既定频率洗涤载具C。
主权项：1.一种气相成长方法，具备将晶圆的外边缘支承的环状的载具，使用多个该载具，将多个处理前的晶圆向至少在前述晶圆上形成CVD膜的反应室顺次搬运，其特征在于，以既定的频率，将在比前述反应室靠前的工序中待机的载具以未搭载处理前的晶圆的状态投入到前述反应室，在将前述反应室维持在既定的洗涤温度的状态下向前述反应室供给洗涤用气体，在前述反应室中洗涤前述载具，将在前述反应室中结束洗涤的载具搬运到比前述反应室靠前的工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 胜高股份有限公司 气相成长方法及气相成长装置
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