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【发明公布】一种石英晶格杂质迁移路径和迁移速率的计算方法_武汉理工大学_202410307252.2 

申请/专利权人:武汉理工大学

申请日:2024-03-18

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN118155733A

主分类号:G16C10/00

分类号:G16C10/00;G16C60/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.07#公开

摘要:本发明公开了一种石英晶格杂质迁移路径和迁移速率的计算方法,包括如下步骤:获取石英中晶格杂质元素的种类和分布;根据晶格杂质元素的种类和分布构建掺杂石英晶胞模型,并对掺杂石英晶胞模型进行几何优化;对优化后的掺杂石英晶胞模型进行动力学计算,得到轨迹模型;根据轨迹模型获得杂质元素的迁移路径和迁移速率;根据杂质元素的迁移路径或迁移速率,评估石英晶格杂质的去除难易程度。本发明在获取石英中的晶格杂质元素种类和分布后,建立相应的掺杂石英晶胞模型并对模型进行几何优化,进一步进行动力学计算获得轨迹模型,计算出杂质迁移速率,可以从原子级别计算出5N级超纯石英提纯过程,能够更直观的展示石英中晶格杂质的去除难易程度。

主权项:1.一种石英晶格杂质迁移路径和迁移速率的计算方法,其特征在于,包括如下步骤:S1.获取石英中晶格杂质元素的种类和分布情况;S2.根据所述晶格杂质元素的种类和分布情况构建掺杂石英晶胞模型,并对所述掺杂石英晶胞模型进行几何优化,得到优化后的掺杂石英晶胞模型;S3.对所述优化后的掺杂石英晶胞模型进行动力学计算,得到轨迹模型;S4.根据所述轨迹模型获得所述杂质元素的迁移路径和迁移速率;S5.根据所述杂质元素的迁移路径或迁移速率,评估石英晶格杂质的去除难易程度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉理工大学 一种石英晶格杂质迁移路径和迁移速率的计算方法

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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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