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申请/专利权人：深圳市中芯辰瑞光电科技有限公司
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118156184A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明公开了一种固晶头可定位的固晶机，涉及半导体固晶机技术领域，包括机箱、点胶组件和固晶组件，所述机箱的外壁安装有升降架，所述升降架的托料台与料盒安装，所述料盒的内部滑动装载有托盘，所述料盒的侧面安装有推料架。该固晶头可定位的固晶机，采用总览相机能够精确的定位拾取晶圆的位置和待放晶圆、点胶的位置，在运动控制时根据视觉定位反馈的信息，可以精准移动晶圆到吸晶组件的正下方，通过启动直线电机带动吸嘴本体下移抵接住晶圆，再通过固晶组件处的电磁阀与外部负压元件连接，从而吸取晶圆后可以在吸晶组件上移时带动负压吸取的晶圆进行移动，通过吸晶组件可以确保固晶机的固晶头具有精准定位的效果。
主权项：1.一种固晶头可定位的固晶机，包括机箱1、点胶组件8和固晶组件81，其特征在于：所述机箱1的外壁安装有升降架2，所述升降架2的托料台与料盒3安装，所述料盒3的内部滑动装载有托盘12，所述料盒3的侧面安装有推料架4，所述机箱1的内部通过滑轨连接有后输送台5和前输送台51，所述机箱1的内侧设置有工作台，且工作台的顶部两侧对称固定有横向磁性直线滑轨6，两组所述横向磁性直线滑轨6的上侧设置有平行分布的前进向磁性直线滑轨7；两组所述前进向磁性直线滑轨7彼此靠近的一侧分别连接有点胶组件8和固晶组件81，所述横向磁性直线滑轨6以及前进向磁性直线滑轨7的侧面均安装有并行排列的正负极磁铁块滑道，所述点胶组件8和固晶组件81通过限位块82与前进向磁性直线滑轨7侧面的正负极磁铁块滑道连接，所述点胶组件8和固晶组件81的侧壁均焊接有支座907，所述支座907的中部插接有总览相机908，所述机箱1的工作台表面设置有定位台10，所述定位台10通过横向滑动模组以及前进向滑动模组进行位置调节，所述定位台10的一侧设置有多个晶圆盒11，所述定位台10靠近晶圆盒11的一侧安装有校正相机13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市中芯辰瑞光电科技有限公司 一种固晶头可定位的固晶机
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