申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司;天津锐洁芯导机器人有限公司

申请日：2024-03-18

公开（公告）日：2024-06-07

公开（公告）号：CN117894727B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;B25J9/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.07#授权;2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法，其中晶圆传输机械手包括机械手本体、ARM横梁、上手臂和下手臂，机械手本体包括本体底座、Z轴中段和Z轴上段，Z轴上段与Z轴中段之间可伸缩连接，Z轴中段与本体底座之间可伸缩连接；Z轴上段与ARM横梁固定连接；ARM横梁的两端分别与两个连接段的端首部对应垂直连接，上手臂的端首部和下手臂的端首部分别与两个连接段的端尾部对应转动安装，上手臂位于下手臂的上方；上手臂的端尾部可转动的安装有上末端执行器，下手臂的端尾部可转动的安装有下末端执行器。本发明能够解决现有双臂晶圆传输机械手结构复杂，Z轴行程受本体尺寸限制的问题。

主权项：1.一种晶圆传输机械手，其特征在于，包括机械手本体、ARM横梁、上手臂和下手臂，所述机械手本体包括本体底座、Z轴中段和Z轴上段，所述Z轴上段与所述Z轴中段之间可伸缩连接，所述Z轴中段与所述本体底座之间可伸缩连接；所述Z轴上段的顶部与所述ARM横梁的中心处固定连接，所述机械手本体能够驱动所述ARM横梁进行升降并绕所述Z轴上段的轴线旋转；所述ARM横梁的两端分别与两个连接段的端首部对应垂直连接，所述上手臂的端首部和所述下手臂的端首部分别与两个所述连接段的端尾部对应转动安装，且所述上手臂位于所述下手臂的上方；所述上手臂的端尾部可转动的安装有上末端执行器，所述下手臂的端尾部可转动的安装有下末端执行器；所述ARM横梁的中心与所述连接段的端尾部中心之间的间距为L1，所述连接段的端首部中心和端尾部中心之间的间距为L2，所述连接段的端首部中心与所述ARM横梁的中心之间的间距为L3，L1、L2与L3之间构成直角三角形；在所述ARM横梁的两端底部分别安装有上手臂电机和下手臂电机，所述上手臂电机与所述上手臂的端首部驱动连接，所述下手臂电机与所述下手臂的端首部驱动连接；所述下手臂和所述上手臂构成机械手的双臂，所述ARM横梁同时作为双臂的大臂，将所述ARM横梁的中心与所述Z轴上段的连接处作为机械手的第一关节，将所述下手臂和所述上手臂与两个所述连接段的连接处分别作为机械手的两个第二关节，将所述下手臂与所述下末端执行器的连接处以及所述上手臂与所述上末端执行器的连接处分别作为机械手的两个第三关节；所述第一关节与所述第二关节之间的关节中心距等于L1，所述第二关节与所述第三关节之间的关节中心距等于L1；设定所述下手臂上的两个关节中心距的长度为所述下手臂的臂长，设定所述上手臂上的两个关节中心距的长度为所述上手臂的臂长，则所述下手臂的臂长等于所述上手臂的臂长等于直角三角形的斜边长度L1；在初始位置时，所述上末端执行器能够位于所述下末端执行器的正上方，使得此时所述上末端执行器和所述下末端执行器在水平面上的投影相重合。

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权利要求：

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