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申请/专利权人：厦门紫硅半导体科技有限公司
申请日：2023-10-27
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221144127U
主分类号：E06B5/00
分类号：E06B5/00;E06B3/46;E06B7/16;E05F15/635;E05D15/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种机械手腔室密封门，包括与腔室通过螺栓固定安装的密封固定板，通过螺栓安装在密封固定板上的轨道架，配合轨道架进行装配的密封机构，以及通过螺钉固定在腔室上的、位于轨道架一侧的侧固定板，装配在侧固定板一端的驱动电机，以及一端连接驱动电机输出端的、另一端连接轨道架的联轴器；本实用新型采用轨道架和密封机构的组合结构，将门的开启和关闭的动作控制在一个相对较小的空间中，使得整个系统结构更加紧凑，驱动电机通过联轴器连接轨道架，通过遥控或者手动操作方便地控制门的开启和关闭，因此具有安装和拆卸方便快捷的优点，也方便进行维护和保养。
主权项：1.一种机械手腔室密封门，其特征在于：包括与腔室通过螺栓固定安装的密封固定板，通过螺栓安装在密封固定板上的轨道架，配合轨道架进行装配的密封机构，以及通过螺钉固定在腔室上的、位于轨道架一侧的侧固定板，装配在侧固定板一端的驱动电机，以及一端连接驱动电机输出端的、另一端连接轨道架的联轴器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门紫硅半导体科技有限公司 一种机械手腔室密封门
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