龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：苏州冠岚新材料有限公司
申请日：2023-10-17
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN221094277U
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/46
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权
摘要：本实用新型公开了一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。本实用新型公开的气相沉积炉均匀加热装置具有将热量进行匀流分散，从而在加热时，可以匀流加热物体的技术效果。
主权项：1.一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室5、气相沉积炉炉体6和中间内炉体7，其特征在于，所述气相沉积炉炉体6的内部开设有内部腔室5，所述内部腔室5的内侧位于气相沉积炉炉体6上设置有中间内炉体7，所述中间内炉体7的上端设置有定位放置罩4，所述定位放置罩4的上端内侧位于气相沉积炉炉体6上设置有匀流分散罩1，所述匀流分散罩1的上方位于气相沉积炉炉体6上设置有加热机体2，所述加热机体2的外端设置有加热电源线3，所述加热机体2的上端设置有匀流风扇8，所述加热电源线3和匀流风扇8与外部控制器电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州冠岚新材料有限公司 一种气相沉积炉均匀加热装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号