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申请/专利权人：浙江金砺科技有限公司
申请日：2023-09-14
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221166744U
主分类号：C23C16/511
分类号：C23C16/511;C23C16/52;C23C16/27
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型属于金刚石加工技术领域，尤其涉及一种微波化学气相沉积炉的沉积台温度调节装置，包括沉积台、水冷台和调节结构。所述沉积台设置在沉积炉内，用于沉积金刚石；所述水冷台设置在沉积台下方，水冷台与沉积台相互接触用于与沉积台之间发生热交换；所述调节结构用于调节水冷台与沉积台之间的接触压力。本实用新型的调节结构使沉积台和水冷台接触压力变化，产生不同的热导率，从而实现对沉积台的温度调节。
主权项：1.一种微波化学气相沉积炉1的沉积台2温度调节装置，其特征在于，包括：沉积台2，所述沉积台2设置在沉积炉1内，用于沉积金刚石；水冷台3，所述水冷台3设置在沉积台2下方，水冷台3与沉积台2相互接触用于与沉积台2之间发生热交换；调节结构，所述调节结构用于调节水冷台3与沉积台2之间的接触压力；所述调节结构包括：调节空腔4，所述调节空腔4设置在沉积台2内；抽气管道5，所述抽气管道5一端与气泵6连接，另一端延伸直调节空腔4内，气泵6用于向抽气管道5送气或抽走抽气管道5内与调节空腔4内的气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江金砺科技有限公司 一种微波化学气相沉积炉的沉积台温度调节装置
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