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申请/专利权人：湘能华磊光电股份有限公司
申请日：2023-10-11
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221166739U
主分类号：C23C16/458
分类号：C23C16/458;C30B25/12;C30B25/10;C23C16/46
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型涉及化合物沉积设备技术领域，且公开了一种具有沉积结构的石墨盘，该具有沉积结构的石墨盘，包括底座，所述底座上表面轴心处固定安装有支撑杆，所述支撑杆上端圆周外表面固定安装有移动板，所述移动板上表面固定设置有推杆，所述支撑杆中段内部活动连接有连杆，所述连杆圆周外表面固定连接有凸轮，所述连杆末端外表面固定连接有电机，所述加热层上表面固定连接有石墨盘。该具有沉积结构的石墨盘，为了避免结晶成形后不易脱模的情况，通过在移动板上表面设置有若干推杆，配合电机、凸轮实现驱动推动推杆上下运动，在石墨盘上表面设置有若干石墨芯，实现结晶快速沉积，从而通过推杆向上，帮助结晶脱模。
主权项：1.一种具有沉积结构的石墨盘，包括底座4，所述底座4上表面轴心处固定安装有支撑杆5，所述支撑杆5上端圆周外表面固定安装有移动板6，其特征在于：所述移动板6上表面固定设置有推杆3，所述支撑杆5中段内部活动连接有连杆9，所述连杆9圆周外表面固定连接有凸轮8，所述连杆9末端外表面固定连接有电机10，所述连杆9上端圆周外表面活动连接有加热层2，所述加热层2内壁固定设置有加热管13，所述加热层2下表面固定连接有加热电源7，所述加热层2上表面固定连接有石墨盘1，所述石墨盘1内部设置有石墨芯12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湘能华磊光电股份有限公司 一种具有沉积结构的石墨盘
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