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一种单晶放肩开叉调控方法 

申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司

申请日:2024-04-01

公开(公告)日:2024-06-11

公开(公告)号:CN118166423A

主分类号:C30B29/06

分类号:C30B29/06;C30B15/20

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.28#实质审查的生效;2024.06.11#公开

摘要:本发明公开了一种单晶放肩开叉调控方法,具体涉及单晶调控技术领域,包括S1、放肩数据收集与分析;S2、直径偏差自动调整拉速;S3、实时监控与调整放肩开叉。本发明通过对引晶、放肩数据的采集,建立数据、图像模型,根据放肩上一工步‑‑引晶阶段平均拉速选择放肩降温,根据放肩头部开叉情况偏移放肩前期拉速,根据放肩直径偏差,PID自主调节放肩中、后期拉速,6套配方组合成9种放肩方案,实现放肩开叉时机与过程拉速自动调节,提高放肩成功率和过程的可重复性,而且根据放肩开叉的时间或大小与预期的偏差,对拉速进行自动调整,以使放肩开叉的时间和大小符合预期。

主权项:1.一种单晶放肩开叉调控方法,其特征在于:该方法具体包括以下步骤:S1、收集和筛选出单晶放肩开叉形状较好的放肩数据,对收集到的放肩数据进行图形与函数拟合,记录引晶平均拉速和引晶定长拉速,同时,需要记录放肩头部放肩开叉时机和开叉大小,将计算得到的数据通过参数写入PLC中;S2、根据CCD相机测量的放肩与调控模型直径,给出直径偏差,然后按照放肩开叉模型,自动调整拉速;S3、在放肩过程中,实时监控放肩开叉的情况,并根据实时情况调整放肩方案,如发现放肩开叉的时间或大小与预期有所偏差,可以立即调整拉速,以使放肩开叉的时间和大小符合预期。

全文数据:

权利要求:

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