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申请/专利权人：中北大学
申请日：2021-09-04
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118190034A
主分类号：G01D5/14
分类号：G01D5/14;G01B7/16;G01K7/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。
主权项：1.一种薄膜传感器，其特征在于，包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅及4个连接点，三个应变栅串联形成等边三角形，第一连接点与第一应变栅的第一端连接，第二连接点分别与第一应变栅的第二端及第二应变栅的第一端连接，第三连接点分别与第二应变栅的第二端及第三应变栅的第一端连接，第四连接点与第三应变栅的第二端连接；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的温度；其中，获得各应变栅的压降，包括：获取第一连接点的第一电压、第二连接点的第二电压、第三连接点的第三电压及第四连接点的第四电压；基于所述第一电压和所述第二电压，确定第一应变栅的第一压降；基于所述第二电压和所述第三电压，确定第二应变栅的第二压降；基于所述第三电压和所述第四电压，确定第三应变栅的第三压降；基于各应变栅的压降，确定待测构件的温度，包括：基于所述第一压降、所述第二压降、所述第三压降及第三映射关系确定表观应变；基于所述表观应变确定温度变化量；基于所述温度变化量及初始温度确定待测构件的温度；其中，所述基于所述第一压降、所述第二压降、所述第三压降及第三映射关系确定表观应变，包括：基于所述第一压降、所述第二压降、所述第三压降，采用如下公式3确定表观应变εapp； 其中，ΔV12、αV23和ΔV34分别为第一应变栅、第二应变栅和第三应变栅的压降的变化量；V12、V23、V34分别为第一应变栅、第二应变栅和第三应变栅的压降，GF表示应变系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 基于三向应变的薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法
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