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申请/专利权人：雨树光科(深圳)有限公司
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118190041A
主分类号：G01D5/353
分类号：G01D5/353;G01N21/45
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本申请实施例涉及光器件技术领域，提供了一种基于法布里‑珀罗腔的硅光传感芯片及生物检测设备，采用由两个布拉格光栅反射镜及亚波长光栅波导组成的法布里‑珀罗反射腔。通过在亚波长光栅波导的对应位置设置微流道，使得待检测的生物液体流经亚波长光栅波导及其光栅间隙中。微流道中的生物液体直接与波导接触，当微流道中的液体折射率发生变化，反射腔波导内亚波长光栅波导介质折射率发生变化，引起反射腔波导的共振光波长变化，实现生物传感。该结构能够增加反射腔波导对生物液体传感的灵敏度，相对于其他的空气腔结构，减少了光的传输损耗，提升传感性能。
主权项：1.一种硅光传感芯片，其特征在于，包括：基底；硅波导，所述硅波导设置在所述基底上，所述硅波导包括传输波导、反射腔波导和定向耦合器，所述传输波导与所述反射腔波导通过所述定向耦合器耦合，所述反射腔波导的两端分别设置有两个反射镜，所述反射腔波导在两个所述反射镜之间设置有亚波长光栅波导；其中，从所述传输波导输入的输入光至少部分通过所述定向耦合器耦合至所述反射腔波导，所述输入光在两个所述反射镜之间进行反射并经过所述亚波长光栅波导形成共振光，至少部分所述共振光通过所述定向耦合器至所述传输波导并输出；微流道，所述亚波长光栅波导位于所述微流道中，所述微流道用于供生物液体流经所述亚波长光栅波导及所述亚波长光栅波导的光栅间隙中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雨树光科(深圳)有限公司 基于法布里-珀罗腔的硅光传感芯片及生物检测设备
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