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申请/专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
摘要：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种微量掺杂锗锌的无铟靶材及其制备方法。本发明的微量掺杂锗锌的无铟靶材由以下制备步骤得到：1原料选择、2混合砂磨、3喷雾造粒、4冷压成型、5烧结。本发明的微量掺杂锗锌的无铟靶材通过将氧化锌粉末和氧化锗粉末掺杂在氧化锡粉末中，使得靶材的致密度和导电率得到了提高，并且通过不断优化制备工艺和工艺参数，可以获得具有综合性能优异的无铟靶材，使得靶材能够满足不同应用领域的需求。
主权项：1.一种微量掺杂锗锌的无铟靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1原料选择：取比表面积为8-12m2g的氧化锡粉末，纯度要求为≥99.99％；比表面积为3-4m2g氧化锗粉末，纯度要求为≥99.99％；比表面积为9-12m2g的氧化锌粉末，纯度要求为≥99.95％；2混合砂磨：将氧化锡、氧化锗、氧化锌混合成粉后，与去离子水、分散剂、粘接剂、消泡剂共同加入到砂磨机中，进行砂磨，得到砂磨浆料；3喷雾造粒：将砂磨浆料进行喷雾造粒，得到混合粉末；4冷压成型：将混合粉末放入模具中，采用冷压成型工艺，将粉末压制成预成型体；5烧结：将预成型体放入烧结炉进行烧结，以0.3-2.1℃min的升温速率升温至300℃进行一次脱水，再以1.6-2.85℃min的升温速率由300℃升温至650℃进行二次脱水，再以4-6℃min的升温速率由650℃升温至900-1200℃进行保温、保温时间1-2h；继续以0.5-2℃min的升温速率由900-1200℃升温至1460-1490℃，保温5-40h，随后在300-650℃烧结脱脂，在900-1490℃烧结通氧，降温得到微量掺杂锗锌的无铟靶材。
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权利要求：
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