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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2022-07-27
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118202251A
主分类号：G01Q60/30
分类号：G01Q60/30
优先权：["20211108 JP 2021-181933"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：在测定力曲线的情况下，控制装置100基于将悬臂12按压于试样S时的按压量的设定值DS1、DS2，将作为该按压量的挠曲量D2控制为作为目标值DT的挠曲量D1，在测定力曲线的情况下，控制装置100基于表示过去执行的力曲线测定中的作为目标值DT的挠曲量D1与作为实际的按压量的挠曲量D2之差的差分数据即挠曲量D3，来将设定值DS1变更为设定值DS2。
主权项：1.一种扫描型探针显微镜，具备：试样台，其用于载置试样；悬臂，其包括探针；以及控制装置，其中，所述悬臂与所述试样台相向地配置，在测定力曲线的情况下，所述控制装置基于将所述悬臂按压于所述试样时的按压量的设定值来将该按压量控制为目标值，在测定力曲线的情况下，所述控制装置基于表示过去执行的力曲线测定中的所述目标值与实际的按压量之差的差分数据，来变更所述设定值。
全文数据：
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