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反熔丝器件及其制造方法 

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申请/专利权人:格芯新加坡私人有限公司

摘要:一种反熔丝器件具有在衬底中的第一接触结构和第二接触结构。该第一接触结构具有第一接触侧,该第一接触侧与第二接触侧邻接并形成具有锐角的第一接触角。第二接触结构与第一接触结构间隔开并且不与第一接触结构电连接。反熔丝器件还包括在衬底中并与第一接触结构相邻的第一虚设结构。第一虚设结构具有第一虚设侧,该第一虚设侧最靠近第一接触结构的第一接触侧并与第一接触结构的第一接触侧间隔开。

主权项:1.一种反熔丝器件包括:在衬底中的第一接触结构,所述第一接触结构具有第一接触侧和与所述第一接触侧邻接的第二接触侧,其中,所述第一接触侧和所述第二接触侧形成具有锐角的第一接触角;在所述衬底中的第二接触结构,其中,所述第二接触结构与所述第一接触结构间隔开并且不与所述第一接触结构电连接;以及与所述第一接触结构相邻并在所述衬底中的第一虚设结构,所述第一虚设结构具有第一虚设侧,所述第一虚设侧最靠近所述第一接触结构的所述第一接触侧并与所述第一接触结构的所述第一接触侧间隔开。

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权利要求:

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