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申请/专利权人：兰州城市学院
摘要：本发明涉及一种二维材料制备用SiSiO2衬底亲水性处理系统及方法，该系统下部是有旋转系统带动旋转台进行转动，旋转台上固定有研磨织物，上部由螺纹式上下移动机构、吸附盘和抽气系统组成；该方法是将SiSiO2衬底通过抽气系统吸附在吸附盘上，在研磨织物上滴入研磨剂，通过螺纹杆下降吸附盘轻微接触研磨织物，开启转动系统电机带动旋转台旋转对SiSiO2衬底表面进行研磨提高其亲水性。本发明在二维半导体材料工业化生产和规模化制备方面具有巨大的应用前景。
主权项：1.一种二维材料制备用SiSiO2衬底亲水性处理系统，其特征在于，所述系统由上下两部分组成，下部是旋转系统带动旋转台进行转动，旋转台上固定有研磨织物，上部由螺纹式上下移动机构、吸附盘和抽气系统组成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州城市学院 一种二维材料制备用Si/SiO2衬底亲水性处理系统及方法
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