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申请/专利权人：安徽立光电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及一种适用于柔性衬底的ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜，一种适用于柔性衬底的ITO薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1，将三氯化铟、四氯化锡放入去离子水中，溶解干燥获得ITO粉体，将ITO粉体、分散剂溶于无水乙醇中制备ITO乙醇浆料；步骤2，将纳米SiO2进行亲油性改性，将改性后的纳米SiO2放入基体溶剂中，与基体溶剂结合制备成膜剂；步骤3，将步骤2得到的成膜剂与步骤1得到的ITO乙醇浆料混合，得到ITO涂料；步骤4，准备衬底，将ITO涂料涂覆在衬底上，固化成膜。本发明通过对氧化铟锡进行纳米改性、纳米SiO2改性处理，使ITO薄膜在低温下结晶，有效避免铟、锡离子的价态变化，使ITO涂料性能稳定，增加ITO薄膜对衬底的粘附性，制得的ITO薄膜不易气泡、脱落，可以实现在低于150℃环境下制备ITO薄膜。
主权项：1.一种适用于柔性衬底的ITO薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1，将三氯化铟、四氯化锡放入去离子水中，溶解干燥获得ITO粉体，将ITO粉体、分散剂溶于无水乙醇中制备ITO乙醇浆料；先进行超声分散，并用盐酸和氨水调节ITO乙醇浆料的PH值，使浆料保持酸性，PH值保持在3-5；三氯化铟、四氯化锡的mol比为1-2：0.1；ITO粉体、无水乙醇、分散剂的mol比为1：40：1；步骤2，将纳米SiO2进行亲油性改性，将改性后的纳米SiO2放入基体溶剂中，与基体溶剂结合制备成膜剂；步骤3，将步骤2得到的成膜剂与步骤1得到的ITO乙醇浆料混合，混合方式为将ITO乙醇浆料逐滴滴入成膜剂中，滴加结束后继续搅拌30min-50min，搅拌均匀后依次进行超声分散、球磨分散，得到ITO涂料；步骤4，准备衬底，将ITO涂料涂覆在衬底上，涂覆方式为将待镀衬底放在镀盘上，设置好转速和匀胶时间，将浆料匀速滴在旋转的衬底上，将镀好ITO湿膜的衬底放在室温下晾干，待溶剂挥发后放入烘干箱，设置烘干温度80-120℃，低温烘干固化成膜。
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