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申请/专利权人：北京工业大学
申请日：2023-08-02
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN116990593B
主分类号：G01R27/26
分类号：G01R27/26;G01D5/24
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2023.11.21#实质审查的生效;2023.11.03#公开
摘要：本发明公开了一种微孔阵列式平板电容传感器，包括：第一导电电极层，第二导电电极层和不导电介电层；所述不导电介电层设置在所述第一导电电极层和所述第二导电电极层之间；所述第一导电电极层和所述第二导电电极层靠近所述不导电介电层的表面分别设置有第一微孔阵列和第二微孔阵列，所述不导电介电层靠近所述第一导电电极层和所述第二导电电极层的表面分别设置有第三微孔阵列和第四微孔阵列。本发明的微结构设计精度高，可在添加碳纤维含量减少的同时，大大提升了柔性平板电容传感器的灵敏度，结构实现了可重复性，批量生产易于进行。
主权项：1.一种微孔阵列式平板电容传感器，其特征在于，包括：第一导电电极层，第二导电电极层和不导电介电层；所述不导电介电层设置在所述第一导电电极层和所述第二导电电极层之间；所述第一导电电极层和所述第二导电电极层靠近所述不导电介电层的表面分别设置有第一微孔阵列和第二微孔阵列，所述不导电介电层靠近所述第一导电电极层和所述第二导电电极层的表面分别设置有第三微孔阵列和第四微孔阵列；所述第一微孔阵列与所述第三微孔阵列相对应，所述第二微孔阵列与所述第四微孔阵列相对应，所述第三微孔阵列和所述第四微孔阵列错位分布；所述第一导电电极层和所述第二导电电极层采用导电橡胶薄膜，所述导电橡胶薄膜通过3D打印技术制备；所述第一导电电极层和所述第二导电电极层中导电填料碳纤维添加量为15wt%~20wt%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京工业大学 一种微孔阵列式平板电容传感器
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