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申请/专利权人：松山湖材料实验室;广东中民工业技术创新研究院有限公司
摘要：一种氮化铝单晶复合衬底的制备方法，属于复合材料制备领域。氮化铝单晶复合衬底的制备方法包括：在衬底的表面沉积氮化铝多晶膜层，退火使氮化铝多晶膜层重结晶形成氮化铝单晶膜层，保持退火气氛及退火温度，自衬底背离氮化铝单晶膜层的一侧对衬底进行减薄处理，冷却，获得氮化铝单晶复合衬底；该制备方法通过在高温退火重结晶后减薄衬底，以减少在冷却过程中因衬底与氮化铝单晶膜层之间的热失配引入的应力，减少位错生成，提高氮化铝单晶膜层的结晶质量，最终获得具有高结晶质量的氮化铝单晶复合衬底。
主权项：1.一种氮化铝单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，包括：在衬底的表面沉积氮化铝多晶膜层，退火使所述氮化铝多晶膜层重结晶形成氮化铝单晶膜层，保持退火气氛及退火温度，自所述衬底背离所述氮化铝单晶膜层的一侧对所述衬底进行减薄处理，冷却，获得氮化铝单晶复合衬底；其中，所述减薄处理后所述衬底的厚度大于等于100μm，所述减薄处理前后所述衬底的厚度差大于等于100μm；其中，所述衬底具有相对的正面以及背面，所述氮化铝多晶膜层形成于所述正面，所述退火和所述减薄处理在同一腔体内进行，所述退火的过程中所述背面的边缘与载具接触以使所述衬底悬空，所述氮化铝多晶膜层、以及所述背面至少与所述氮化铝多晶膜层对应的部分均裸露于腔体气氛中；所述减薄处理的方式包括：采用等离子体轰击的方式减薄所述衬底，且所述背面面向所述等离子体的轰击方向。
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