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申请/专利权人：广东省新兴激光等离子体技术研究院
申请日：2024-04-11
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149937U
主分类号：H01J37/08
分类号：H01J37/08;H01J37/317
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本申请涉及一种灯丝装夹机构、离子源及离子注入机，所述机构包括：第一灯丝固定环和第二灯丝固定环，第一绝缘定位套和第二绝缘定位套，灯丝座，第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆；第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆的顶端开设有中心孔，用于装入并固定灯丝，底端用于连接灯丝电源；第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆通过配套螺栓固定到灯丝座上；其中，第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆的顶端插入灯丝座内后，套入第一绝缘定位套和第二绝缘定位套；第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆的顶端预套入第一灯丝固定环和第二灯丝固定环，灯丝的两端分别插入顶端的中心孔内并通过第一灯丝固定环和第二灯丝固定环进行固定；该技术方案，占用空间小，安装重复性好。
主权项：1.一种灯丝装夹机构，用于固定离子源的灯丝01，其特征在于，包括：第一灯丝固定环21和第二灯丝固定环22，第一绝缘定位套41和第二绝缘定位套42，灯丝座05，第一灯丝联接杆61和第二灯丝联接杆62；所述第一灯丝联接杆61和第二灯丝联接杆62的顶端开设有中心孔6a，用于装入并固定灯丝01，底端用于连接灯丝01电源；所述第一灯丝联接杆61和第二灯丝联接杆62通过配套螺栓固定到灯丝座05上；其中，第一灯丝联接杆61和第二灯丝联接杆62的顶端插入灯丝座05内后，套入第一绝缘定位套41和第二绝缘定位套42；所述第一灯丝联接杆61和第二灯丝联接杆62的顶端预套入第一灯丝固定环21和第二灯丝固定环22，灯丝01的两端分别插入顶端的中心孔6a内并通过第一灯丝固定环21和第二灯丝固定环22进行固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东省新兴激光等离子体技术研究院 灯丝装夹机构、离子源及离子注入机
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