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申请/专利权人：深圳腾睿微电子科技有限公司
申请日：2023-08-10
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221134497U
主分类号：B23K26/38
分类号：B23K26/38;B23K26/402;B23K26/064;B23K26/046
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型提供一种碳化硅晶圆切割装置，包括支撑座、激光装置、及加工平台；激光装置设置于支撑座，其包括激光器、激光扩束器、第一反射镜、第二反射镜及多焦点红外物镜，激光器发出的脉冲激光经过激光扩束器进行扩束，再依次经过第一反射镜、第二反射镜反射至多焦点红外物镜，经过扩束后的脉冲激光经由多焦点红外物镜后形成射向碳化硅晶圆的多个焦点。通过第一反射镜、第二反射镜的二次反射作用，可以调整脉冲激光的三维路径，使其能沿多焦点红外物镜的光轴进入到多焦点红外物镜；脉冲激光经由多焦点红外物镜后形成至少一个焦点；采用多焦点红外物镜，利用光的偏振态即可改变焦点数量和焦点距离等参数，光路简单稳定，降低成本。
主权项：1.一种碳化硅晶圆切割装置，其特征在于，包括支撑座、激光装置、及加工平台；所述加工平台用于承载碳化硅晶圆；所述激光装置设置于所述支撑座，其包括激光器、激光扩束器、第一反射镜、第二反射镜及多焦点红外物镜，其中，所述激光器发出的脉冲激光经过激光扩束器进行扩束，再依次经过所述第一反射镜、所述第二反射镜反射至所述多焦点红外物镜，经过扩束后的脉冲激光经由所述多焦点红外物镜后形成射向碳化硅晶圆的至少一个焦点；所述激光装置还包括物镜调节架、Z轴直线驱动机构及滑动板；所述物镜调节架为用于调节所述多焦点红外物镜的光轴角度的五维光学调整夹具，所述多焦点红外物镜设置于所述物镜调节架；所述Z轴直线驱动机构设置于所述支撑座，并与所述滑动板连接，以通过所述滑动板带动所述多焦点红外物镜平行于自身光轴移动；所述物镜调节架通过支撑架连接于所述滑动板；所述支撑架包括横板及楔形板，所述横板的两端分别与所述物镜调节架和滑动板固定连接，所述楔形板固定于所述横板的顶部，并与所述滑动板固定连接；所述支撑架使得所述物镜调节架与所述滑动板之间保持一定距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳腾睿微电子科技有限公司 碳化硅晶圆切割装置
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