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申请/专利权人：日扬科技股份有限公司
申请日：2022-12-15
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118203934A
主分类号：B01D53/26
分类号：B01D53/26;B01D46/30
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明涉及一种半导体废气处理系统及其水气分离器，此系统包含水气分离器连通于湿式洗涤器及抽气装置之间。水气分离器包含连通之进气管、分离管及排气管，水气分离器还包含导流斜隔板斜向式设于分离管中以及滤材层填充于分离管中。湿式洗涤器洗涤制程废气源之制程废气且排放出洗涤废气，抽气装置提供吸力使得洗涤废气先经由进气管进入分离管中，并分离出水雾及粉尘后，再经由排气管排出干燥废气。本发明不仅可维持水雾及粉尘的分离与过滤功效，还能进一步提供透明可视化、可拆卸化及可加热化设计，借此可观察压力变化、快速拆换及延长保养周期。
主权项：1.一种水气分离器，适于纵向连通于一湿式洗涤器及一抽气装置之间，其特征在于，该水气分离器至少包含：一进气管、一分离管及一排气管，该分离管纵向设置以连通于该进气管及该排气管之间，其中该进气管纵向设置以连通至该湿式洗涤器之一排气口，该排气管纵向设置以连通至该抽气装置之一抽气口；至少一导流斜隔板，该至少一导流斜隔板斜向式设于该分离管中；以及至少一滤材层，填充于该分离管中且位于该至少一导流斜隔板上，用以形成复数个过滤区段，其中该湿式洗涤器洗涤一制程废气源所排放之一制程废气且排放出一洗涤废气，该抽气装置提供一吸力使得该湿式洗涤器所排放之该洗涤废气先经由该进气管进入该分离管中，并借由该分离管中之该滤材层及该至少一导流斜隔板分离出该洗涤废气中所含之水雾及粉尘后，使其成为一干燥废气，再经由该排气管排出该干燥废气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日扬科技股份有限公司 半导体废气处理系统及其水气分离器
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