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申请/专利权人：南京理工大学;南京英特飞光电技术有限公司
申请日：2024-01-19
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118209062A
主分类号：G01B11/30
分类号：G01B11/30;G01B9/02055
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明公开了一种斜入射下的干涉角度标定方法，由于入射角的准确度直接相关于测量精度。特别是在大角度斜入射掠入射的情况下，微小的角度变化将引起极大的结果波动。因此本发明设计了一块经过标定的棱镜标准器，辅以干涉为基础的高精度角度对准方法，实现秒级的入射角度校准。本发明的校准方法只需要在测量仪初次安装时进行校准，其原理是校准并固定掠入射光束与反射光束的夹角，与被测件无关。样品测量过程只调整被测件干涉条纹达到要求，则入射角度可同时达到要求。
主权项：1.一种在斜入射下的干涉角度标定方法，其特征在于，步骤如下：步骤1、搭建斜入射干涉测量系统：所述斜入射干涉测量系统，包括角度标准器1、干涉仪2和高反射镜3；步骤2、将角度标准器1放置在干涉仪2和高反射镜3之间，干涉仪2和高反射镜3分别通过支架倾斜架设，角度标准器1和两个支架放置在水平台上；步骤3、调整棱镜位置使得光束经由角度标准器1的入射斜边面形成干涉条纹，并使其干涉条纹最少；步骤4、继续调整棱镜位置使通过棱镜底面反射的光束照射到高反射镜3，调整高反射镜3的二维倾斜俯仰，使光束原路返回，出现干涉条纹，并使得干涉条纹最少；步骤5、固定干涉仪1和高反射镜3角度位置，校准完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学;南京英特飞光电技术有限公司 一种斜入射下的干涉角度标定方法
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