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申请/专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日：2020-05-13
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN113671690B
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08;F16C11/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2021.12.07#实质审查的生效;2021.11.19#公开
摘要：本发明提供一种转轴结构及MEMS双轴转镜，所述转轴结构包括：导电辅梁，设于所述导电辅梁上方或下方的导电主梁，及隔开所述导电辅梁和所述导电主梁的空气间隙。通过本发明解决了现有三明治结构的外转轴存在断裂等可靠性问题及影响器件温度稳定性的问题。
主权项：1.一种MEMS双轴转镜，其特征在于，所述MEMS双轴转镜包括：具有转动空间的框架，所述框架包括内框架及外框架；转轴结构，设于所述内框架和所述外框架之间，包括：导电辅梁，设于所述导电辅梁上方或下方的导电主梁，及隔开所述导电辅梁和所述导电主梁的空气间隙，其中，所述导电主梁的扭转刚度大于所述导电辅梁的扭转刚度；转动镜体，设于所述转动空间中；内转轴，设于所述转动镜体和所述内框架之间且与所述转轴结构垂直设置；第一内固齿，设于所述内框架与所述内转轴平行的一侧内边缘；第二内固齿，设于所述内框架与所述内转轴平行的另一侧内边缘；第一内动齿，设于所述转动镜体一侧且与所述第一内固齿对应设置；第二内动齿，设于所述转动镜体另一侧且与所述第二内固齿对应设置；第一转动方向正引线焊盘，设于所述外框架上，所述第一内固齿通过所述转轴结构的一侧导电辅梁与所述第一转动方向正引线焊盘电连接；第一转动方向负引线焊盘，设于所述外框架上，所述第二内固齿通过所述转轴结构的另一侧导电辅梁与所述第一转动方向负引线焊盘电连接；接地焊盘，设于所述外框架上，所述第一内动齿、所述第二内动齿及所述转动镜体均通过所述转轴结构的导电主梁与所述接地焊盘电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽中科米微电子技术有限公司 一种转轴结构及MEMS双轴转镜
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