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申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司
摘要：公开了一种化学槽及其温度控制方法方法，所述化学槽包括槽体以及所述槽体外的循环管路；其中，所述循环管路上连接有加热单元以及与所述加热单元并联的制冷单元，所述加热单元和所述制冷单元切换连接至所述循环管路内。本发明通过增设制冷单元，可以通过切换所述加热单元和所述制冷单元实现对所述槽体中的化学品进行加热或者制冷，所述槽体内化学品的温度实现更大范围的调节，进而实现对化学品的在不同温度下，尤其是低温下的化学特性的工作以及试验。
主权项：1.一种化学槽，其特征在于，所述化学槽包括：槽体；所述槽体外的循环管路，所述循环管路上连接有加热单元以及与所述加热单元并联的制冷单元，所述加热单元和所述制冷单元切换连接至所述循环管路内；管路切换单元，实现对所述加热单元和所述制冷单元的切换，控制单元，与所述管路切换单元连接；存储单元，与所述控制单元连接，用于存储每一组化学品以及待腐蚀薄膜对应的预设温度值；以及选择单元，所述选择单元与所述控制单元连接，用于对化学品以及待腐蚀薄膜的种类进行选择；其中，所述预设温度值根据化学品对待腐蚀薄膜的选择特性确定，根据实时温度值与预设温度值的比较值来切换所述加热单元和所述制冷单元。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长江存储科技有限责任公司 化学槽及其温度控制方法
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