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申请/专利权人：日本特殊陶业株式会社
申请日：2020-06-01
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN113940145B
主分类号：H05H1/26
分类号：H05H1/26;A61N1/44;A61B18/00
优先权：["20190604 JP 2019-104559"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2022.02.01#实质审查的生效;2022.01.14#公开
摘要：等离子体照射装置20具备：具备供放电用气体流动的流路36并且在流路36的端部设置有放出口34的气体引导路30；及在气体引导路30内产生等离子体放电的放电部，等离子体照射装置20设置于与目标对象物相对地移动的前端设备3、203、303。而且，等离子体照射装置20具有阀72。阀72设置于气体引导路30或气体流通路，构成为根据自身的开度使放电用气体的流量变化的阀或止回阀。
主权项：1.一种等离子体照射装置，具有：气体引导路，具备供放电用气体流动的流路，并且在所述流路的端部设置有放出口；放电部，具备第一电极、第二电极、介于所述第一电极与所述第二电极之间的电介质，在所述气体引导路内产生等离子体放电；及气体供给路，成为向所述气体引导路供给所述放电用气体的路径，设置于比进行所述放电用气体的流量控制的气体控制部更靠所述气体引导路侧处，所述等离子体照射装置设置于与目标对象物相对地移动的前端设备，其中，所述等离子体照射装置具有：止回阀，所述止回阀设置于所述气体引导路或所述气体供给路，允许所述放电用气体朝向所述放出口流动，并且防止气体向反方向流动；放电控制部，使所述放电部进行所述等离子体放电；浓度检测部，所述浓度检测部检测所述气体引导路或所述气体供给路中的比所述止回阀更靠所述放出口侧的路径内的所述放电用气体的浓度或空气中包含的特定气体的浓度；所述浓度检测部检测所述特定气体的浓度，所述放电控制部构成为，以由所述浓度检测部检测出的所述特定气体的浓度越大则越增大所述第一电极与所述第二电极之间的最大电压的方式控制所述放电部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本特殊陶业株式会社 等离子体照射装置及等离子体照射方法
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